An alternative method of fabricating sub-micron resolution masks using excimer laser ablation.
Allbwn ymchwil: Cyfraniad at gyfnodolyn › Erthygl › adolygiad gan gymheiriaid
Fersiynau electronig
Dangosydd eitem ddigidol (DOI)
Allweddeiriau
| Iaith wreiddiol | Saesneg |
|---|---|
| Tudalennau (o-i) | 826-831 |
| Cyfnodolyn | Journal of Micromechanics and Microengineering |
| Cyfrol | 14 |
| Rhif y cyfnodolyn | 6 |
| Dynodwyr Gwrthrych Digidol (DOIs) | |
| Statws | Cyhoeddwyd - 1 Meh 2004 |