Fabrication of step-and-flash imprint lithography (S-FIL) templates using XeF2 enhanced focused ion-beam ething.

Allbwn ymchwil: Cyfraniad at gyfnodolynErthygladolygiad gan gymheiriaid

Fersiynau electronig

Dangosydd eitem ddigidol (DOI)

  • J.P. Kettle
  • J. Kettle
  • R.T. Hoyle
  • S. Dimov

Allweddeiriau

Iaith wreiddiolSaesneg
Tudalennau (o-i)819-825
CyfnodolynApplied Physics A: Materials Science and Processing
Cyfrol96
Rhif y cyfnodolyn4
Dynodwyr Gwrthrych Digidol (DOIs)
StatwsCyhoeddwyd - 1 Medi 2009
Gweld graff cysylltiadau