Fabrication of step-and-flash imprint lithography (S-FIL) templates using XeF2 enhanced focused ion-beam ething.
Allbwn ymchwil: Cyfraniad at gyfnodolyn › Erthygl › adolygiad gan gymheiriaid
Fersiynau electronig
Dangosydd eitem ddigidol (DOI)
Allweddeiriau
| Iaith wreiddiol | Saesneg |
|---|---|
| Tudalennau (o-i) | 819-825 |
| Cyfnodolyn | Applied Physics A: Materials Science and Processing |
| Cyfrol | 96 |
| Rhif y cyfnodolyn | 4 |
| Dynodwyr Gwrthrych Digidol (DOIs) | |
| Statws | Cyhoeddwyd - 1 Medi 2009 |