Fersiynau electronig

Dangosydd eitem ddigidol (DOI)

Iaith wreiddiolSaesneg
Tudalennau (o-i)1794-1799
CyfnodolynJournal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
Cyfrol26
Rhif y cyfnodolyn5
Dynodwyr Gwrthrych Digidol (DOIs)
StatwsCyhoeddwyd - 1 Medi 2008
Gweld graff cysylltiadau