Three-dimensional excimer laser micromachining using greyscale masks
Allbwn ymchwil: Cyfraniad at gyfnodolyn › Erthygl › adolygiad gan gymheiriaid
Fersiynau electronig
Dangosydd eitem ddigidol (DOI)
| Iaith wreiddiol | Saesneg |
|---|---|
| Rhif yr erthygl | 599 |
| Cyfnodolyn | Journal of Micromechanics and Microengineering |
| Cyfrol | 13 |
| Dynodwyr Gwrthrych Digidol (DOIs) | |
| Statws | Cyhoeddwyd - 2003 |