Light Actuated Microrobots

  1. Erthygl › Ymchwil › Adolygwyd gan gymheiriaid
  2. Cyhoeddwyd

    Isotropic silicon etch characteristics in a purely inductively coupled SF6 plasma

    Panduranga, P., Abdou, A., Pedersen, R. H., Ren, Z. & Nezhad, M., 30 Tach 2019, Yn: Journal of Vacuum Science and Technology B. 37, 6, 061206.

    Allbwn ymchwil: Cyfraniad at gyfnodolynErthygladolygiad gan gymheiriaid

  3. Cyfraniad i Gynhadledd › Ymchwil › Adolygwyd gan gymheiriaid
  4. Cyhoeddwyd

    Hybrid Diamond/Silicon Suspended Integrated Photonic Platform using SF6 Isotropic Etching

    Abdou, A., Richter, J., Thomas, E. L. H., Mandal, S., Ren, Z., Pedersen, R. H., Williams, O. A., Witzens, J., Nezhad, M. P. & Panduranga, P., 9 Ebr 2020, 2019 IEEE 2nd British and Irish Conference on Optics and Photonics (BICOP). London: IEEE

    Allbwn ymchwil: Pennod mewn Llyfr/Adroddiad/Trafodion CynhadleddCyfraniad i Gynhadleddadolygiad gan gymheiriaid