Light Actuated Microrobots
1 - 2 o blith 2Maint y tudalen: 50
- Erthygl › Ymchwil › Adolygwyd gan gymheiriaid
- Cyhoeddwyd
Isotropic silicon etch characteristics in a purely inductively coupled SF6 plasma
Panduranga, P., Abdou, A., Pedersen, R. H., Ren, Z. & Nezhad, M., 30 Tach 2019, Yn: Journal of Vacuum Science and Technology B. 37, 6, 061206.Allbwn ymchwil: Cyfraniad at gyfnodolyn › Erthygl › adolygiad gan gymheiriaid
- Cyfraniad i Gynhadledd › Ymchwil › Adolygwyd gan gymheiriaid
- Cyhoeddwyd
Hybrid Diamond/Silicon Suspended Integrated Photonic Platform using SF6 Isotropic Etching
Abdou, A., Richter, J., Thomas, E. L. H., Mandal, S., Ren, Z., Pedersen, R. H., Williams, O. A., Witzens, J., Nezhad, M. P. & Panduranga, P., 9 Ebr 2020, 2019 IEEE 2nd British and Irish Conference on Optics and Photonics (BICOP). London: IEEEAllbwn ymchwil: Pennod mewn Llyfr/Adroddiad/Trafodion Cynhadledd › Cyfraniad i Gynhadledd › adolygiad gan gymheiriaid